方案概述

针对半导体芯片制造、TFT-LCD制造、电子元件制造、印制电路板制造、电子终端产品制造等工艺中产生的各类废气,天得一深入研究并为其提供定制化的废气治理解决方案。这些废气主要源于生产过程中的多个工序,如薄膜沉积、光刻、刻蚀、清洗和涂覆等,包括CVD废气(含硅烷、氢气、氨气、含氟含磷废气等)、剥离液废气等在内的特气、酸性废气、碱性废气、有机废气等。针对泛半导体行业废气排放特点,我们深入研发,为泛半导体行业提供高效、可靠的废气治理方案。

方案内容

  • CVD废气处理:使用高效真空泵抽取废气,首先经过Local Scrubber净化装置进行初步处理,然后进入Central Scrubber进行深度治理。采用多种净化方式,确保废气达标排放。净化工艺涵盖冷凝、燃烧、除尘、洗涤、吸收、吸附和静电等多种方式.
  • 酸性碱性废气、剥离液废气处理:采用冷凝法回收有价值的组分,然后进入集中洗涤系统。利用酸碱中和、多级吸收和吸附、常温催化氧化工艺,深度净化并消除异味。
  • 有机废气处理,我们利用活性炭吸附或沸石转轮技术,将大风量、低浓度的有机废气浓缩为小风量、中高浓度的有机废气。随后,这些废气会经过高效的焚烧处理(如RTO/TO/CO等),确保排放浓度低于20mg/m?。
  • 其他废气处理:天得一始终根据客户的具体需求和实际情况,为其提供定制化的废气治理解决方案,真正解决客户的后顾之忧。通过科学合理的废气治理,可以有效地减少泛半导体工艺对环境的影响,同时也可以保障操作人员的健康和安全。
  • 立即咨询

方案特点

  • 预处理

    专用预处理

    保证系统高效、稳定运行

  • 组合工艺设计

    处理复杂成分及大风量废气

  • 自动化程度高

    自动化程度高

    投资、运行经济性良好

  • 运行稳定

    运行稳定

    负压布置,废气处理达标排放

  • 安全可靠

    安全可靠

    多重安全联动+防爆设计

核心产品